Silicon Technologies: Ion Implantation and Thermal Treatment
Annie Baudrant
ISBN: 9781848212312
Vydavatelství: Wiley
Rok vydání: 2011
Vazba: Hardback
Počet stran: 356
Dostupnost: Skladem
Původní cena: 4 202 Kč
Výstavní cena:
3 152 Kč(t.j. po slevě 25%)
(Cena je uvedena včetně 10% DPH)
Katalogová cena: 99.95 GBP
Nárok na
dopravu zdarma
Termín dodání na naši pobočku v Brně je přibližně 3-4 týdny.
The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.